湖南高温箱式电炉销售价格
- 来源:
- 天津中环电炉股份有限公司
- 日期:
- 2023年6月8日
产品用途
PECVD系统是借助射频使含有薄膜组成原子的气体电离,在局部形成等离子体,而等离子体化学活性很强,很容易发生反应,在基片上沉积出所期望的薄膜。
PECVD系统配置;
1.1200度开启式滑动单温区真空管式炉
2.等离子射频电源
3.多路质量流量控制系统
4.真空系统(单独购买)
产品特性;
电源范围广;温度范围宽;溅射区域长;整管可调;精致小巧,性价比高,可实现快速升降温,是实验室生长薄膜石墨烯,金属薄膜,陶瓷薄膜,复合薄膜等的理想选择,也可作为扩展等离子清洗刻蚀使用。
系统名称
集成型PECVD系统
1200℃小型PECVD系统
系统型号
PE
PECVD-12IH-4Z/G
控制方式
液晶屏微PLC控制系统
手动
高温度
1200℃
加热区长度
200mm
恒温区长度
100mm
温区
单温区
石英管管径
Φ60mm
Φ50mm
额定功率
1.2Kw
2Kw
额定电压
220V
滑动方式及距离
自动滑动;200mm
手动滑动;200mm
温度控制
30段程序控温
50段程序控温
控制精度
±1℃
炉管高工作温度
<1200℃
气路法兰
采用多环密封技术卡箍快速连接
排风冷却装置
的空气隔热技术,结合热感应技术,当炉体表面温升到50℃时,
排温风扇将自动启动,使炉体表面快速降温。
气体控制方式
质量流量计(按键式)
气路数量
2路(2-4路)
4路(可根据具体需要选配气路数量)
流量范围
0-500sccm(标准毫升/分,可选配)氮气标定
精度
±1%F.S
响应时间
1sec
工作温度(流量计)
20-120℃
工作压力
进气压力0.05-0.3Mpa(表压力)
进气方式
采用防倒流设计
规格
中真空(集成型请单独购买)
系统真空范围
10Pa-100Pa
PECVD系统是借助射频使含有薄膜组成原子的气体电离,在局部形成等离子体,而等离子体化学活性很强,很容易发生反应,在基片上沉积出所期望的薄膜。
PECVD系统配置;
1.1200度开启式滑动单温区真空管式炉
2.等离子射频电源
3.多路质量流量控制系统
4.真空系统(单独购买)
产品特性;
电源范围广;温度范围宽;溅射区域长;整管可调;精致小巧,性价比高,可实现快速升降温,是实验室生长薄膜石墨烯,金属薄膜,陶瓷薄膜,复合薄膜等的理想选择,也可作为扩展等离子清洗刻蚀使用。
系统名称
集成型PECVD系统
1200℃小型PECVD系统
系统型号
PE
PECVD-12IH-4Z/G
控制方式
液晶屏微PLC控制系统
手动
高温度
1200℃
加热区长度
200mm
恒温区长度
100mm
温区
单温区
石英管管径
Φ60mm
Φ50mm
额定功率
1.2Kw
2Kw
额定电压
220V
滑动方式及距离
自动滑动;200mm
手动滑动;200mm
温度控制
30段程序控温
50段程序控温
控制精度
±1℃
炉管高工作温度
<1200℃
气路法兰
采用多环密封技术卡箍快速连接
排风冷却装置
的空气隔热技术,结合热感应技术,当炉体表面温升到50℃时,
排温风扇将自动启动,使炉体表面快速降温。
气体控制方式
质量流量计(按键式)
气路数量
2路(2-4路)
4路(可根据具体需要选配气路数量)
流量范围
0-500sccm(标准毫升/分,可选配)氮气标定
精度
±1%F.S
响应时间
1sec
工作温度(流量计)
20-120℃
工作压力
进气压力0.05-0.3Mpa(表压力)
进气方式
采用防倒流设计
规格
中真空(集成型请单独购买)
系统真空范围
10Pa-100Pa
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- 7、正方形缸体气缸:MB1系列
- 19、薄型气缸/带导杆:CQM系列
- 气爪(平行开闭型)/圆柱形爪体:MHS2系列
- 微型带导杆气缸:MGJ系列
- 磁偶式无杆气缸(滑齿型/球轴承):CY1L系列
- 各类电气系统交流耐压的国家标准
- 26、叶片式摆动气缸;CRB2系列
- 21、自由安装型气缸:CU系列
- 回转夹紧气缸:MK系列/标准型
- 双联气缸/基本型:CXS系列
- 9、欧洲标准气缸:C85系列