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气浮平台特征：
双驱五轴运动
采用激光干涉仪做位置反馈。定位精度与重复定位精度纳米级
大速度1000mm/s
大加速度：4G
大负载：50KG
纳米级超精密气浮运动平台，可实现XY同步运动。
采用激光干涉仪作为位置反馈，实现纳米级定位精度与重复定位精度。
气浮平台应用：
满足高速、高加速、高精度产品的定制需求。
适用于科研、实验室、激光加工、晶圆检测、晶圆划片、等半导体行业
双驱五轴运动
采用激光干涉仪做位置反馈。定位精度与重复定位精度纳米级
大速度1000mm/s
大加速度：4G
大负载：50KG
纳米级超精密气浮运动平台，可实现XY同步运动。
采用激光干涉仪作为位置反馈，实现纳米级定位精度与重复定位精度。
气浮平台应用：
满足高速、高加速、高精度产品的定制需求。
适用于科研、实验室、激光加工、晶圆检测、晶圆划片、等半导体行业
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