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氦气纯度：工业氦 氦气纯度：≥99% 氖（氢）、氧（氩）、氮、甲烷总含量，%≤1 水分含量，露点，≤-43℃
纯氦 优等品一等品合格品 氦气纯度，%≥99.99599.99399.99 氖含量，ppm≤152540
氢含量，ppm≤357 氧（氩）含量，ppm≤355 氮含量，ppm≤101725 一氧化碳，ppm≤111
二氧化碳，ppm≤111 甲烷量，ppm≤111 水分含量，ppm≤101520
高纯氦气 氦气纯度>99.999%，杂质含量（ppm）：O2≤0.5，N2≤1.0，CO≤0.5，CO2≤0.5，
CH4≤0.5，H2O≤0.5，Ne≤8.0；
超纯氦气 氦气纯度>99.9999%，杂质含量（ppm）：N2≤0.5，O2≤0.5，Ne≤0.5，CO≤0.1，
CO2≤0.1，THC≤0.1，H2O≤0.2；
氦气纯度：工业氦 氦气纯度：≥99% 氖（氢）、氧（氩）、氮、甲烷总含量，%≤1 水分含量，露点，≤-43℃
纯氦 优等品一等品合格品 氦气纯度，%≥99.99599.99399.99 氖含量，ppm≤152540
氢含量，ppm≤357 氧（氩）含量，ppm≤355 氮含量，ppm≤101725 一氧化碳，ppm≤111
二氧化碳，ppm≤111 甲烷量，ppm≤111 水分含量，ppm≤101520
高纯氦气 氦气纯度>99.999%，杂质含量（ppm）：O2≤0.5，N2≤1.0，CO≤0.5，CO2≤0.5，
CH4≤0.5，H2O≤0.5，Ne≤8.0；
超纯氦气 氦气纯度>99.9999%，杂质含量（ppm）：N2≤0.5，O2≤0.5，Ne≤0.5，CO≤0.1，
CO2≤0.1，THC≤0.1，H2O≤0.2；
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